压电/电致伸缩微位移器件与应用（上）
摘要：介绍了国内外几种压电/电致伸缩微位移器件，并着重介绍了压电/电致伸缩微位移器在精密机械、大规模集成电路设备、生物工程、机器人等方面的超精密定位技术上的应用和发展前景。
作者：蔡鹤皋； 孙立宁； 安辉
来源（出处）：高技术通讯，High Technology Letters，1994，（5）：38-40
发表日期： 1994年5月28日
为真实全面展现新中国科技发展历史，收集保存反映老科学家学术成长经历的宝贵资料，特邀请您向采集工程捐献传记、证书、信件、手稿、著作等学术成长过程相关的各类资料。2021年采集工程项目申报现已启动，火热报名中！
详细