1928年5月1日生于浙江宁波。1951年毕业于浙江大学物理系。1958年获苏联列宁格勒大学物理－数学副博士学位。历任清华大学半导体教研组主任、微电子学研究副所长、所长。中国电子学会荣誉会员，国家科学技术名词委员会委员，中国微纳米技术学会名誉副理事长，《电子学报》、《半导体学报》和《传感技术学报》编委等职。1991年当选为中国科学院学部委员（院士）。于2011年5月2日在北京不幸逝世，享年83岁。

50年代初，在半导体薄膜光电导和光电机理研究中，提出电子晶粒间界理论，在此基础上研制成高信噪比PbS红外探测器。1959年研制成高超纯多晶硅。60年代从事硅器件研究，其中平面硅工艺及高反压硅高频三极管成果，促进了国内有关的研究和生产。1977年以后主要从事大规模、超大规模集成技术及器件物理的研究，领导、指导和直接参与了多种静态存储器，8位、16位高速微处理器、EEPROM和1兆位汉字ROM等超大规模集成电路芯片的研制工作，并取得成功。同时开发出3微米和1微米成套工艺技术。指导并发明半导体红外高速退火技术和设备。近期的研究包括：系统芯片集成和微电子机械技术。 

出版专著四部，国内外发表学术论文160余篇。 曾获国家科技进步二等奖，国家发明二等奖，陈嘉庚信息科学奖，“何梁何利”科技进步奖。